Ход выполнения прикладных научных исследований в рамках ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса на 2014-2020 годы», соглашение Электронного бюджета 075-15-2019-1697, Внутренний номер соглашения 05.604.21.0230 от 20.11.2019 «Разработка твердотельных тонкопленочных 3D литий-ионных аккумуляторов для микроминиатюрных устройств интегральной электроники, гибкой электроники и микросистемной техники». 

Ход выполнения прикладных научных исследований в рамках ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса на 2014-2020 годы», соглашение Электронного бюджета 075-15-2019-1697, Внутренний номер соглашения 05.604.21.0230 от 20.11.2019 «Разработка твердотельных тонкопленочных 3D литий-ионных аккумуляторов для микроминиатюрных устройств интегральной электроники, гибкой электроники и микросистемной техники». 

В ходе выполнения этапа №1 ПНИ были получены следующие результаты:

1. Промежуточный отчет о ПНИ, содержащий:

1.1. Аналитический обзор современной научно-технической, нормативной, методической литературы в области создания ТТЛИА в тонкопленочном (интегральном) исполнении;

1.2. Выбор и обоснование направления исследований по тематике ПНИ;

1.3. Проведение пробных экспериментов по формированию 3D структур на кремнии методом плазмохимического травления;

1.4. Эскизная конструкторская документация на макет тонкопленочного ТТЛИА в планарном исполнении;

1.5. Эскизная конструкторская документация на макет тонкопленочного ТТЛИА в 3D исполнении;

1.6. Отчет о патентных исследованиях, оформленный в соответствии с ГОСТ 15.011-96.

2. Отчет о патентных исследованиях.

2.1. Эскизная конструкторская документация на макет тонкопленочного ТТЛИА в 3D исполнении.

2.2. Эскизная конструкторская документация на макет тонкопленочного ТТЛИА в планарном исполнении.

Основные характеристики полученных результатов:

- Аналитический обзор содержит 270 научных информационных источников в области создания ТТЛИА за период 1980 – 2017г.г.

- Проанализированы 100 патентов, представляющих интерес для выполнения настоящей работы.

- Выполнены выбор и обоснование направления исследования по тематике ПНИ;

- Проведены пробные эксперименты по формированию 3D структур на кремнии методом плазмохимического травления;

- Разработана конструкция и топология макета ТТЛИА в планарном исполнении;

- Разработана конструкция и топология макета ТТЛИА в 3D исполнении;

- Отработана лабораторная технология нанесения твёрдого электролита LiPON на тонкопленочные электроды состава: Si-O-Al, LixV₂O₅, LiFePO₄, Li_(1+а)Ni_bMn_cCoO_(2-δ) (далее NMC).

- Отработана лабораторная технология нанесения тонких пленок состава Si-O-Al и LixV2O5 на тонкую пленку твёрдого электролита LiPON.

- Отработана лабораторная технология нанесения медного токоотвода на тонкопленочные электроды состава: Si-O-Al, LixV₂O₅,LiFePO₄, NMC.

- Отработана лабораторная технология нанесения диэлектрического слоя на медный токоотвод.

- Отработана лабораторная технология вскрытия окон в слое диэлектрика для формирования контактных площадок.